Numele instrumentului: pulverizator ionic complet automat Modelul: ETD-800

Principiul: pulverizare diodică DC

Numele instrumentului: pulverizator ionic Modelul: ETD-900M

Principiul: pulverizare magnetron

În sputterizarea magnetronică, deoarece electronii în mișcare sunt supuși forței Lorentz în câmpul magnetic, trajectoria lor de mișcare se îndoaie sau chiar produce.

Mișcarea în spirală brută, calea sa de mișcare se prelungește, creștend astfel numărul de coliziuni cu moleculele de gaz de lucru, creșterea densității plasmai, astfel încât rata de pulverizare a magnetronului să fie mult îmbunătățită și poate lucra la tensiuni și presiuni de pulverizare mai mici. În același timp, electronii care pierd energia după mai multe coliziuni ajung la anod și devin electroni cu energie scăzută, astfel încât substratul să nu se supraîncălzească.

Parametrii ETD-800:

Specificații gazdă: 260mm x 307mm x 260mm (L x D x H)

Specificații de alimentare: 220V / 50Hz

Tintă (electrod superior): 50mm x 0,1 mm (D x H)

Obiectiv: au

Camera mostră vid: sticlă borosilicat 115mm × 100mm (D × H)

Timer: zui Durata lungă: 3600S

Pompa mecanică: 1L/S

Tensiune ridicată: -1200 DCV

Parametrii ETD-900M:

Specificații gazdă: 300mm × 360mm × 380mm (L × D × H)

Tintă (electrod superior): 50mm x 0,1 mm (D x H)

Tintă: Au (standard)

Camera eșantionului: sticlă borosilicat 160mm × 120mm (D × H)

Dimensiune țintă: Ф 50mm

真空指示表： zui 高真空度： ≤ 4X10-2 mbar

Contor de curent ionic: zui Curent mare: 50mA

Timer: zui Durata lungă: 0-360S

Mini supapa de vid: se poate conecta furtun φ 3mm

Gaze accesibile: diverse

Tensiune ridicată: -1600 DCV

Pompa mecanică: 2L/S standard (VRD-8)

Caracteristici şi utilizare:

Utilizarea ETD-800:

Pregătirea probelor cu microscop electron de scanare (SEM) pentru laboratoarele electroscopice.

Caracteristici:

Acoperirea cu particule fine poate fi realizată prin înlocuirea unor ținte diferite (aur, platină, argint etc.).

Operare cu un singur clic, ușor de utilizat.

Utilizarea ETD-900M:

Prepararea eșantioanelor cu microscop electron de scanare (SEM) pentru laboratoarele de electroscopie și fabricarea de electrozi experimentali din materiale neconductoare.

Caracteristici:

1, simplu, economic, fiabil și frumos.

Curentul de pulverizare și presiunea camerei de vid pot fi reglate pentru a controla viteza acoperirii și mărimea particulelor.

Butonul de pornire manual SETPLASMA poate fi presetat pentru presiunea și curentul de pulverizare pentru a evita deteriorarea inutilă a membranei.

Protecția de vid poate evita scurtcircuitul scurt cauzat de un vid prea scăzut.

În același timp, se poate obține o acoperire a particulelor mai fine prin înlocuirea diferitelor ținte (aur, platină, iridiu, argint, cupru, etc.).

6, prin introducerea diferitelor gaze inerte pentru a obține o acoperire mai pură.