Silicanul este un nou material important, utilizat pe scară largă în ecranele LCD, semiconductori, energie solară și alte industrii, cu dezvoltarea semiconductorilor din China și alte industrii, cererea internă de silican crește din ce în ce mai mult, dar deoarece tehnologia de producție internă de silican este în stadiul incipient, modul de analizare a purității silicanului este o problemă cu care trebuie să se confrunte fiecare producător.
Este bine cunoscut faptul că analiza gazelor de înaltă puritate este un proces complex și una dintre dificultățile analizei cromatografice; Datorită specificității proprietăților sale fizice, dificultatea analizei sale poate fi greu de îngreutat, nu numai că este nevoie de un detector de înaltă sensibilitate, dar și pentru a rezolva problema arderii oxigenului de silican.GC-9560-HG Chromatometru de fază cu heliu ionizatDepășirea numeroaselor dificultăți tehnice în procesul de analiză a silicanului, utilizarea detectorului de ionizare a heliului de înaltă sensibilitate, echipat cu un sistem dedicat de eșantionare a silicanului, a finalizat bine analiza urmelor de impurități de nivel ppb din silican.

Standardele aplicabile:

• GB/T 15909-2009 - Silani pentru gaze industriale electronice

GC-9560-HG cromatometru de fază cu heliu ionizat pentru analiza silicanuluiAplicat pentru detectarea urmelor de impurități în gazele de înaltă puritate și gazele industriale electronice, concentrația de detecție zui mică poate ajunge la 5ppb. Instrumentul este echipat cu un detector de ionizare a heliului de înaltă sensibilitate, care utilizează tehnologia de tăiere centrală a Huaei Inc.*, cu supape de introducere echipate cu supape de introducere cu căi de aer de protecție de suflare; Întreaga mașină este concepută cu mai multe coloane, diferitele coloane cromatografice pot controla temperatura separat, zui optimizează condițiile de separare la maximum și ușoară îmbătrânirea diferitelor coloane cromatografice, ușoară întreținerea instrumentului; Instrumentul este echipat cu un sistem de corectare automată a presiunii de preluare a eșantionului pentru a depăși erorile de analiză cauzate de cantitatea de preluare a eșantionului în funcție de greutatea moleculară diferită.

Unul,GC-9560-HG cromatometru de fază cu heliu ionizat pentru analiza silicanuluiAvantajele de performanță:
Industria gazelor este industria de bază a economiei naționale și este "sângele" producției industriale, iar, odată cu dezvoltarea rapidă a economiei naționale, cererea de gaze de înaltă puritate și gaze pentru industria electronică a crescut rapid. Detectarea urmelor de impurități este o legătură cheie a producției de gaze de înaltă puritate și gaze industriale electronice, în timp ce analiza urmelor de impurități a fost întotdeauna o dificultate a analizei cromatografice, detectoarele cromatografice tradiționale, cum ar fi conductivitatea termică, nu pot fi competente pentru analiza gazelor de înaltă puritate.
Detectorul de ionizare a heliului cu descărcare de puls (PDHID) este un detector de tip universal cu o sensibilitate extrem de ridicată, cu un răspuns ridicat la aproape toți compușii inorganici și organici, potrivit în special pentru analiza gazelor de înaltă puritate și este capabil să detecteze până la nivelul ng / g (ppb). Standardul național nou elaborat prevede utilizarea detectorului de ionizare a heliului pentru a înlocui detectoarele originale, precum și conductivitatea termică, iar standardul național „Analiza gazelor cu heliu ionizat cu cromatografie gazoasă”, care își asumă sarcina principală de redactare, este, de asemenea, în curs de elaborare și va fi publicat în curând.

PDHID limită de detectare a impurităților gazoase în silican (ppb)

Doi.GC-9560-HGConfigurarea sistemului:

(1) GC-9560-HG Chromatometru de fază cu ionizare a heliului (2) Detector de ionizare a heliului (PDHID)

(3) Sistem de tăiere centrală (4) Sistem electronic de eșantionare a gazelor

(5) Sisteme de absorbție și reducere a oxigenului (6) Purificatoare de heliu

(7) supapa de reducere a presiunii pentru transportul de gaze (8) supapa de eșantionare specială fără volum mort
(9)Filtre de gaz transportator (10)Filtre de eșantion

(11) coloane cromatografice (12) gaze standard
(13) Heliu de înaltă puritate (puritate > 99,999%) GC-9560V4.0

• Tehnologia de tăiere centralizată pentru analiza completă a gazelor:
  GC-9560-HG heliu-ionizat cromatometru de gaze folosește mai multe supape cu mai multe coloane de tăiere centrală și tehnologie de suflare, sistemul constă din mai multe supape de suflare cu zece căi și cromatografie cu mai multe rădăcini, care controlează automat procesele de preluare, comutare, tăiere și suflare prin intermediul programului de timp stabilit de stația de lucru.

• Supapa de suflare cu zece căi
  GC-9560-HGEchipate cu supape de suflare de zece căi produse de VICI original importat cu căi de aer de protecție, planul supapei este întotdeauna în atmosfera de transportare a gazului, pentru a evita penetrarea aerului în eșantioane la introducerea și comutarea, îmbunătățind considerabil sensibilitatea și precizia detectării.
• Tehnologia coloanelor cromatografice prelucrate special
  (1) tubul de coloană cromatografică folosește material din oțel inoxidabil 316L, iar pereții interni ai tubului sunt tratați prin pasivare pentru a preveni apariția problemelor de adsorbție și monoxid de carbon
  (2) carierele de coloane cromatografice sunt tratate special pentru a evita apariția unor probleme precum adsorbția oxigenului
  (3) coloana pre-tăiată folosind cromatografia Huaei pentru a obține tehnologia coloanei de umplere miniatură a țării, pentru a îmbunătăți în întregime separarea eșantionului, luând în considerare separarea, stabilitatea și rapiditatea

• Sistem de separare multi-coloane
  Eșantioanele de gaze au o varietate de forme, în timp ce o varietate largă de impurități necesită o combinație de mai multe coloane cromatografice diferite pentru a finaliza separarea tuturor impurităților din eșantioanele de gaze. Deoarece temperaturile optime de lucru pentru diferite coloane cromatografice diferă, este greu să găsiți o temperatură optimă de lucru pentru diferite coloane cromatografice în același box de coloane. GC-9560-HG utilizează un design cu mai multe coloane pentru a rezolva în mod eficient problemele în care diferitele coloane cromatografice necesită diferite temperaturi de lucru.
  În întreținerea zilnică a instrumentului, deoarece temperatura de activare a coloanelor cromatografice a diferitelor suporturi, cum ar fi seta moleculară 5A, variază, dacă îmbătrânirea în aceeași cutie de coloane necesită îndepărtarea coloanelor cromatografice intolerante la temperaturi ridicate și apoi activarea separată. GC-9560-HG este conceput pentru a rezolva în mod eficient problemele de mai sus, iar diferitele coloane cromatografice pot fi activate separat în diferite coloane, evitând problema dezmontarii coloanelor cromatografice în întreținerea zilnică a instrumentelor.
• Purificatorul de heliu HP-2:
  GC-9560-HGUtilizând heliu de înaltă puritate ca gaz transportator, puritatea heliului afectează direct sensibilitatea întregului instrument la detectarea impurităților. Testele au demonstrat că puritatea gazelor transportatoare utilizate pentru analiza gazelor de înaltă puritate este cel puțin cu un grad de cantitate mai mare decât puritatea de bază a eșantionelor de gaz.
  Purificatorul de heliu de tip HP-2 este un purificator de gaz specializat produs de VICI, substratul său de purificare este un aliaj de adsorbență non-volatil, suprafața particulelor de adsorbent are un strat de membrană de oxid care trebuie activată prin încălzire, procesul de activare trebuie să se completeze în vid sau în mediul de gaze inerte, astfel încât heliul să se difuzeze liber între ele, împiedicând formarea stratului de purificare a oxigenului și absorbția gazelor impure. Materialele adsorbente HP au o stabilitate termică bună, inclusiv două intervale de control al temperaturii.
  Gazuri purificabile: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  presiune de funcționare: 1000psi
  Eliminarea gazelor: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Aşteaptă.
  Concentrația reziduală: ≤10ppb
• Sistem de corectare a presiunii
  Chromatometrul tradițional folosește metoda de control al fluxului la ieșirea supapei de eșantionare pentru a controla volumul de eșantionare în interiorul tubului cantitativ, iar experimentele au dovedit că această metodă are o mare eroare de analiză.
  Să luăm ca exemplu analiza hidrogenului de înaltă puritate: gazele standard sunt cele șase impurități configurate în heliu, în timp ce gazele eșantionate sunt cele șase impurități din hidrogen; Datorită greutății moleculare diferite a heliului și hidrogenului, cantitatea de eșantioane la același flux nu este *.
  GC-9560-HGEchipat cu un sistem de corectare a presiunii, pentru a depăși problema cantității de eșantionare nu * cauzată de diferitele gaze de bază pentru a asigura exactitatea datelor.
• Valva de eșantionare fără volum mort
  GC-9560-HG este echipat cu o supapă de eșantionare dedicată cu volum fără moarte, care utilizează o metodă de eșantionare cu protecție de suflare, pentru a evita în mod eficient problema rămășițelor de aer și pentru a reduce efectul procesului de eșantionare asupra analizei la un nivel zui scăzut.
• Supape de reducere a presiunii pentru transportul de gaze
  Supapa de reducere a presiunii obișnuite, datorită prezenței unui număr mare de volum mort, afectează direct puritatea gazului transportator după ieșirea supapei de reducere a presiunii, ceea ce duce la o concentrație ridicată de impurități în baza gazului transportator, ceea ce afectează limita de detectare a întregului sistem.
  GC-9560-HG heliu-ionizat cromatometru de gaze este echipat cu o supapă de reducere a presiunii din oțel inoxidabil cu funcția de regulare a presiunii în două etape, îmbunătățind în mod semnificativ stabilitatea presiunii, asigurând stabilitatea liniei de bază, în timp ce, de asemenea, reduce volumul mort în corpul supapei, îmbunătățind în continuare sensibilitatea la detectare.

GC-9560-HGDiagrama efectelor analitice: