Echipamentele de tratare a suprafeței cu plasma la temperatură scăzută sunt grupate din cavități cu vid și surse de energie cu plasma de înaltă frecvență, sisteme de pompare cu vid, sisteme de gonflare, sisteme de control automat și altele. Să devină. Principiul de bază al funcționării este că în starea de vid, acțiunea plasmai poate ioniza gazele în cadrul metodelor de control și calitateUtilizarea pompei de vid va fi realizată în studio pentru a pompa vid până la 30-40pa, apoi sub acțiunea generatorului de înaltă frecvență, gazele vor fi ionizate pentru a forma plasma (a patra stare a substanței), caracteristicile sale remarcabile sunt descărcarea luminoasă de înaltă uniformitate, în funcție de gazele diferite emit lumină vizibilă de culoare de la albastru la violet închis, temperatura de prelucrare a materialului se apropie de temperatura camerei. Aceste particule foarte active și suprafața tratată acționează, obținând o varietate de modificări de suprafață precum hidrofilitatea suprafeței, rezistența la apă, frecarea scăzută, curățarea ridicată, activarea și grabarea.

Parametrii tehnici

1 șiDimensiunile echipamentului: 450mm*400mm*240mm

2 șiDimensiuni depozit vid: Φ151×300(L)mm （5L）

3 șiStructura depozitului: cavitate din oțel inoxidabil, electrod de cuplare cu capacitate încorporată, fără poluare, tavă de cuarț încorporată.

4 șiGeneratoare de plasmaFrecvența radio, puterea 0-300W reglată, protecția întregului circuit, funcționare continuă lungă (răcire cu aer).

5 șiSisteme de controlControlul complet automat al ecranului tactil PLC, care utilizează componente electrice de import Omron, Schneider și altele, există două moduri de control manual și automat, ecran tactil cu culori reale, controler programabil Siemens (PLC), sistem de senzor al presiunii în vid produs în SUA, poate fi setat, modificat, monitorizat on-line presiunea în vid, timpul de prelucrare, puterea plasma și alți parametri de proces și are o varietate de funcții precum alarma de defecțiune, stocarea procesului și altele. Setarea parametrilor de proces în modul automat permite pornirea cu un singur clic și repetarea continuă. Modul manual este utilizat pentru procesele experimentale și pentru întreținerea și repararea echipamentelor.

Procesul:

1 șiProcesul de procesare Încărcare piesă→ pompare vid → scurgere în gazele de reacție → tratament de descărcare cu plasma → refacerea gazelor → scoaterea piesei de lucru

2 șiControlul procesului:

2.1 Controlul timpului de procesare: 1 secundă - 120 de minute reglabile în continuu.

Presiunea de descărcare plasmatică: 30-50Pa.

2.3 Intervalul de reglare a puterii: 0-300W reglabil în continuu.

2.4 Gama de setare a debitului: Gazul 1 (0-300 ml / min) Gazul 2 (0-500 ml / min).

Funcții software PLC (interfață de manipulare)

Ekranul principal: monitorizarea în timp real și afișarea stării de funcționare și a datelor, puterea de alimentare cu plasma, fluxul de gaze, comutatorul supapei, presiunea de vid, Timpul de funcționare etc.

Setarea parametrilor: se pot seta și modifica parametrii și pașii procesului.

Starea de lucru: puteți vedea online presiunea de vid, puterea de plasma și alte date și stare.

Alarmă de defecțiune: detectie de defecțiuni, alarmă și protecție interblocată Şi.

Aplicații de legare a cipurilor PDMS

PDMS și efectul de legare a diapozitivelor

Experimentul de dezlipire după legare,PDMS nu poate fi separat de diapozitiv după ruptura, iar stratul de legare vizibil este mult mai puternic decât PDMS în sine. Procesul sistemului este simplu, rata finală este ridicată, viteza de legare este rapidă, rezistența este ridicată și nu se vor produce scurgeri de lichid.