Principalele caracteristici ale sistemului de verificare a wafer-urilor Olympus de 12 inchi:

• Transportare robustă, fiabilă și sigură

Sistemul de inspecție a wafer-urilor Olympus de 12 inchi continuă robustețea, fiabilitatea și siguranța modelelor de generație anterioară și poate transporta în siguranță wafer-urile de 300 mm, iar wafer-urile subțiri și Warped pot fi transportate în siguranță.

● Proiectare ergonomică, operare ușoară

Sistemul de inspecție a wafer-urilor Olympus de 12 inchi poate fi setat liber în modul de inspecție, în proiectare, luând în considerare operabilitatea în proiectarea traseului, acordând o atenție deosebită ușurinței de operare a echipamentului. Există două modele FOUP (Load Port) şi FOSB.

Optimizarea poziției macro-observaționale a sistemului de inspecție a wafer-urilor Olympus de 12 inchi și aranjamentul centralizat al unităților de operare îmbunătățesc operabilitatea echipamentului.

Specificații tehnice pentru sistemul automat de verificare a wafer-urilor de 300 mm AL120-12